气氛炉简介
箱式气氛炉采用预抽真空技术,确保炉膛内的氧含量降至最低。随后,会通入氮气或氩气等惰性气体,以在保护性气氛下实现理想的热处理效果。由于其出色的气氛控制和紧凑实用的设计,该设备已被广泛应用于材料实验室和半导体、氮化硅等产品的批量生产中。
产品特点
温度范围:RT~1700℃,满足各种材料的高温处理需求。
炉膛材料:采用氧化铝多晶纤维,确保温场均衡且无污染,为材料提供纯净的热处理环境。
密闭性能:炉膛采用全密闭结构,壳体采用双层加厚钢板,确保极限真空可达-0.1Mpa,保证炉内高真空状态。
加强结构:顶部、左侧、右侧和背部均采用12mm的实心方钢作为加强筋,确保在抽真空过程中不变形,最大抽真空度可达到-0.08MPa。
控温系统:采用工业精度0.2级智能仪表,结合PID调节技术,实现50段编程控温,确保温度控制的准确性和稳定性。
炉门密封:四个手轮紧锁炉门,配合硅胶圈密封,有效防止炉内气体外泄,保持炉内气氛的稳定。
标准配件:
炉门档火砖(1200型除外)
高温手套
坩埚钳
说明书
热元件两支(1200型除外)
旋片真空泵
可选配件:
直连式真空泵
触摸屏/电脑连接软件
炉膛坩埚(多层窑具)
加热元件(硅钼棒,硅碳棒)
气路系统(浮子/质子流量计,2路/3路气体)
技术参数
标准规格:1200型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-12AN-1 | 1200 | 1100 | 100*100*100 | 220V | 0.8 |
BR-12AN-2 | 1200 | 1100 | 120*120*130 | 220V | 1.2 |
BR-12AN-3 | 1200 | 1100 | 150*150*150 | 220V | 2.5 |
BR-12AN-5 | 1200 | 1100 | 150*150*200 | 220V | 3 |
BR-12AN-8 | 1200 | 1100 | 200*200*200 | 220V | 5 |
BR-12AN-12 | 1200 | 1100 | 200*200*300 | 220V | 6 |
BR-12AN-27 | 1200 | 1100 | 300*300*300 | 380V | 8 |
BR-12AN-36 | 1200 | 1100 | 300*300*400 | 380V | 10 |
BR-12AN-64 | 1200 | 1100 | 400*400*400 | 380V | 16 |
标准规格:1400型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-14AS-1 | 1400 | 1300 | 100*100*100 | 220V | 1 |
BR-14AS-2 | 1400 | 1300 | 120*120*130 | 220V | 2 |
BR-14AS-3 | 1400 | 1300 | 150*150*150 | 220V | 3 |
BR-14AS-5 | 1400 | 1300 | 150*150*200 | 220V | 4 |
BR-14AS-8 | 1400 | 1300 | 200*200*200 | 220V | 5 |
BR-14AS-12 | 1400 | 1300 | 200*200*300 | 220V | 7 |
BR-14AS-27 | 1400 | 1300 | 300*300*300 | 380V | 9 |
BR-14AS-36 | 1400 | 1300 | 300*300*400 | 380V | 11 |
BR-14AS-64 | 1400 | 1300 | 400*400*400 | 380V | 18 |
标准规格:1700型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-17AM-1 | 1700 | 1600 | 100*100*100 | 220V | 1 |
BR-17AM-2 | 1700 | 1600 | 120*120*130 | 220V | 3 |
BR-17AM-3 | 1700 | 1600 | 150*150*150 | 220V | 4 |
BR-17AM-5 | 1700 | 1600 | 150*150*200 | 220V | 5 |
BR-17AM-8 | 1700 | 1600 | 200*200*200 | 220V | 7 |
BR-17AM-12 | 1700 | 1600 | 200*200*300 | 220V | 8 |
BR-17AM-27 | 1700 | 1600 | 300*300*300 | 380V | 10 |
BR-17AM-36 | 1700 | 1600 | 300*300*400 | 380V | 12 |
BR-17AM-64 | 1700 | 1600 | 400*400*400 | 380V | 20 |