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箱式气氛炉

箱式气氛炉

箱式气氛炉的应用非常广泛,适用于材料实验室和批量生产环境,在半导体、氮化硅等产品的制造过程中,这款设备能够提供精确的热处理条件,确保产品的高质量和生产的稳定性。

联系电话:16628751252
产品详情

气氛炉简介

箱式气氛炉采用预抽真空技术,确保炉膛内的氧含量降至最低。随后,会通入氮气或氩气等惰性气体,以在保护性气氛下实现理想的热处理效果。由于其出色的气氛控制和紧凑实用的设计,该设备已被广泛应用于材料实验室和半导体、氮化硅等产品的批量生产中。

产品特点

温度范围:RT~1700℃,满足各种材料的高温处理需求。

炉膛材料:采用氧化铝多晶纤维,确保温场均衡且无污染,为材料提供纯净的热处理环境。

密闭性能:炉膛采用全密闭结构,壳体采用双层加厚钢板,确保极限真空可达-0.1Mpa,保证炉内高真空状态。

箱式气氛炉

加强结构:顶部、左侧、右侧和背部均采用12mm的实心方钢作为加强筋,确保在抽真空过程中不变形,最大抽真空度可达到-0.08MPa。

控温系统:采用工业精度0.2级智能仪表,结合PID调节技术,实现50段编程控温,确保温度控制的准确性和稳定性。

炉门密封:四个手轮紧锁炉门,配合硅胶圈密封,有效防止炉内气体外泄,保持炉内气氛的稳定。

标准配件:

炉门档火砖(1200型除外)

高温手套

坩埚钳

说明书

热元件两支(1200型除外)

旋片真空泵

可选配件:

直连式真空泵

触摸屏/电脑连接软件

炉膛坩埚(多层窑具)

加热元件(硅钼棒,硅碳棒)

气路系统(浮子/质子流量计,2路/3路气体)

技术参数

标准规格:1200型

设备型号

最高温度

工作温度

炉膛尺寸

电压

功率

BR-12AN-1

1200

1100

100*100*100

220V

0.8

BR-12AN-2

1200

1100

120*120*130

220V

1.2

BR-12AN-3

1200

1100

150*150*150

220V

2.5

BR-12AN-5

1200

1100

150*150*200

220V

3

BR-12AN-8

1200

1100

200*200*200

220V

5

BR-12AN-12

1200

1100

200*200*300

220V

6

BR-12AN-27

1200

1100

300*300*300

380V

8

BR-12AN-36

1200

1100

300*300*400

380V

10

BR-12AN-64

1200

1100

400*400*400

380V

16

标准规格:1400型

设备型号

最高温度

工作温度

炉膛尺寸

电压

功率

BR-14AS-1

1400

1300

100*100*100

220V

1

BR-14AS-2

1400

1300

120*120*130

220V

2

BR-14AS-3

1400

1300

150*150*150

220V

3

BR-14AS-5

1400

1300

150*150*200

220V

4

BR-14AS-8

1400

1300

200*200*200

220V

5

BR-14AS-12

1400

1300

200*200*300

220V

7

BR-14AS-27

1400

1300

300*300*300

380V

9

BR-14AS-36

1400

1300

300*300*400

380V

11

BR-14AS-64

1400

1300

400*400*400

380V

18

标准规格:1700型

设备型号

最高温度

工作温度

炉膛尺寸

电压

功率

BR-17AM-1

1700

1600

100*100*100

220V

1

BR-17AM-2

1700

1600

120*120*130

220V

3

BR-17AM-3

1700

1600

150*150*150

220V

4

BR-17AM-5

1700

1600

150*150*200

220V

5

BR-17AM-8

1700

1600

200*200*200

220V

7

BR-17AM-12

1700

1600

200*200*300

220V

8

BR-17AM-27

1700

1600

300*300*300

380V

10

BR-17AM-36

1700

1600

300*300*400

380V

12

BR-17AM-64

1700

1600

400*400*400

380V

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